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半导体装备

集成电路

集成电路作为信息技术产业的核心,是关系国民经济和社会发展的基础性、先导性产业,已成为拉动电子工业迈向数字时代的强大引擎。随着5g、ai、iot、vr/ar、高性能运算等技术应用的不断推进,带动了集成电路芯片产业的快速发展。   

在集成电路制造领域,针对logic、dram、3d nand、3d ic等不同的芯片技术,北方华创可提供等离子刻蚀机、pvd、cvd、ald、炉管和清洗等设备,并均已进入主流芯片工厂。自成立以来,北方华创多款产品逐步被集成电路芯片制造企业指定为基准机台,广泛地获得了客户和市场的认可。

  • 等离子刻蚀设备
  • 物理气相沉积设备
  • 化学气相沉积设备
  • 氧化扩散设备
  • 湿法设备
  • 气体测量控制
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