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cvi330

化学气相沉积炉

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cvi330 化学气相沉积炉
cvi330 chemical vapor deposition furnace
化学气相渗透注入工艺(cvi)是化学气相沉积(cvd)法的一种延伸,是指将一种或几种烃类气体化合物经高温分解、缩聚之后炭沉积在多孔介质内部,使材料致密化的方法,是新发展起来的制备无机材料新技术,该技术主要用于制备各种高温陶瓷基复合材料,包括碳/碳复合材料和以碳化物、氮化物为基质的材料,cvi设备主要应用于光伏辅材的碳纤维气体沉积。
设备特点
  • 多区控温,更优温度均匀性,可拓宽客户工艺需求
  • 模块化保温设计,具有较低的保温功率,降低能耗,助于发展低碳经济
  • 通过模拟分析,设计合理的碳源分配系统,可满足客户多种产品工艺要求
  • 自动内外室压差控制系统,提升设备可靠性,延长热区使用寿命
  • 更优的快冷系统设计,冷却效率更高,提高生产效率
  • 多级冷凝和过滤装置,提高设备稳定性
技术指标
  • 温度范围
    ≤1160℃
  • 有效区
    φ3300×3800mm
  • 温度均匀性
    ≤±10℃
  • 分压
    1000~10000pa
  • 压升率
    50pa/h
  • 连续运行时间
    ≥350h
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