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集成电路 ic
  集成电路作为信息产业的基础及核心,是关系国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业,已成为拉动电子工业迈向数字时代的强大引擎。国际上也以其技术水平作为衡量国家综合国力的重要标志之一。集成电路制造领域,naura厚积薄发,自主研发了国内应用于先进制程的等离子硅刻蚀机,已正式进入客户生产线;应用于28nm制程的hardmask pvd设备,已成为国内主流芯片代工厂的baseline设备,并成功进入国际供应链体系,代表着国产集成电路工艺设备的较高水平;单片清洗机、立式氧化炉、单片退火系统、al pad pvd等设备也均进入主流代工厂,实现批量销售。
氧化扩散设备 oxide/diff
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