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气体测量控制 gas measuring control
质量流量计(mfm)/质量流量控制器(mfc)属于一种工业自动化仪表,可以应用到对各种气体(含蒸汽)进行测量或控制,目前常用的有量热式、角动量式、振动陀螺式、马格努斯效应式和科里奥利力式等质量流量计,naura研制生产的是量热式质量流量计,质量流量计(mfm)可以精密测量气体的质量流量,质量流量控制器(mfc)除测量外还可以精密控制气体的质量流量。mfm/mfc具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点,mfm/mfc可以在真空或高压气路中工作。它被广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、石化、医疗等行业。
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