高温退火炉 / 高温氧化炉 activsic-凯发官网平台

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高温退火炉 / 高温氧化炉 activsic-650 / oxidsic-650
   sic-650系列高温炉,适用于sic基功率器件制造中的高温工艺环节。为实现sic片在高温真空环境下完成离子激活和退火工艺,sic-650系列 高温退火炉和氧化炉,均采用立式结构设计,工艺控制好,片间温度分布均匀,工艺气流均匀稳定。本系列高温炉,采用加热腔与工艺腔独立的真空密闭设计,提高 工艺腔的气密性和洁净度。

应用领域:

  sic基功率器件 、石墨烯生长


适用工艺:

  高温退火、高温氧化


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